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行業(yè)/用途
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關(guān)鍵指標(biāo)
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對(duì)應(yīng)電導(dǎo)率(25℃)
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參考標(biāo)準(zhǔn)
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半導(dǎo)體UPW (EW?I)
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電阻率≥10?MΩ·cm
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≤0.1?μS/cm
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SEMI F63?0918
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注射用水(WFI)
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藥典限值
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≤1.3?μS/cm
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《中國藥典》2020年版四部通則0681
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超臨界鍋爐給水
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氫電導(dǎo)限值
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≤0.15?μS/cm
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DL/T 502.29?2019
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實(shí)驗(yàn)室超純水
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理想值
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≈0.055?μS/cm
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ISO 3696:1987 Grade I
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